LCD液晶面板制造过程详解:前段Array制程（一）

前段Array制程：薄膜/黄光/蚀刻/剥膜（一）

液晶面板制造的前段Array制程主要是“薄膜
、黄光
、蚀刻
、剥膜”四大部分，如果仅仅是这样看
，很多网友根本不解这四步的具体含义
，以及为什么会这样做
。

首先，液晶分子的运动与排列都需要电子来驱动，因此在液晶的载体——TFT玻璃上，必须有能够导电的部分
，来控制液晶的运动，这里将会用ITO（Indium Tin Oxide
，透明导电金属）来做这件事情
。ITO是透明的，也成薄膜导电晶体，这样才不会阻挡背光。

液晶分子排列的不同以及快速的运动变化
，才能保证每个像素精准显示相应的颜色
，并且图像的变化精确快速
，这就要求对液晶分子控制的精密。ITO薄膜需要做特殊的处理
，就犹如在PCB板上印刷电路一般
，在整个液晶板上画出导电线路。

首先，需要在TFT玻璃上沉积ITO薄膜层
，这样整块TFT玻璃上就有了一层平滑均匀的ITO薄膜。然后用离子水
，将ITO玻璃洗净，准备进入下一步骤
。

接下来，要在沉积了ITO薄膜的玻璃上涂上光刻胶，在ITO玻璃上形成一层均匀的光阻层
。然后烘烤一段时间，将光刻胶的溶剂部分挥发

，增加光阻材料与ITO玻璃的粘合度。

用紫外光（UV）通过预先制作好的电极图形掩模版照射光刻胶表面，使被照光刻胶层发生反应
，在涂有光刻胶的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性曝光。