LCD液晶面板制造过程详解:薄膜/黄光/蚀刻/剥膜（二）

前段Array制程：薄膜/黄光/蚀刻/剥膜(二)

我们以一个像素单位为例

，如上图
，这个像素中，浅色部分未曝光，而深色的是曝光部分。

接着，用显影剂将曝光部分的光刻胶清洗掉，这样就只剩下未曝光的光刻胶部分，然后用离子水将溶解的光刻胶冲走。

显影之后需要加热烘烤

，让未曝光的光刻胶更加坚固的依附在ITO玻璃上

然后用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜的蚀刻掉，只保留光刻胶下方的ITO膜。ITO玻璃为(In2O3 与SnO2)的导电玻璃
，未被光刻胶覆盖的ITO膜易与酸发生反应
，而被光刻胶覆盖的ITO膜可以保留下来
，得到相应的拉线电极。

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